[디지털경제뉴스 최종엽 기자] 코그넥스에 산업용 로봇 기업 쿠카(KUKA)가 비전센서 ‘인사이트(In-Sight) 2000’을 공급했다고 밝혔다.
쿠카는 1898년 독일에서 설립된 로봇 분야의 세계적 기업이다. 이번에 코그넥스의 비전센서의 도입은 매우 민감한 고감도 웨이퍼를 운반하는 모바일 로봇의 정확한 이미지 처리를 위해서다.
쿠카는 반도체 웨이퍼를 워크스테이션에서 다음으로 옮기는 과정을 자동화하기 위해 코그넥스에 협업을 요청했다. 코그넥스는 매우 민감한 반도체 웨이퍼를 옮길 수 있는 정밀 로봇 그리퍼(Gripper, 자동화 모션에서 사람의 손가락과도 같은 역할을 하는 제품) 시스템 제작을 위해 ‘인사이트(In-Sight) 2000’ 비전센서를 적용했다.
쿠카는 이를 통해 반도체 카세트(Cassette, 웨이퍼끼리의 접촉을 막기 위해 슬롯을 만들어 놓은 웨이퍼 보관 용기)의 자동화 운반 및 취급이 가능한 통합 솔루션인 ‘세미 모빌리티 솔루션(Semi Mobility Solution)’을 개발했다.
쿠카의 세미 모빌리티 솔루션은 무인운반차(AGV)와 로봇 팔, 그리퍼가 결합된 형태로, 무인운반차가 웨이퍼 운반 박스가 위치한 인도 지점에 도착하면 로봇 팔이 통합돼 있는 코그넥스의 이미지 처리 센서로 위치를 정밀하게 측정한다. 그 후 로봇이 높은 수준의 정확도로 운반 박스를 잡을 위치로 이동해 민감한 웨이퍼를 어떠한 진동도 없이 무인운반차 플랫폼의 저장 공간에 보관한다.
이 방식을 통해 200mm 또는 300mm 지름의 웨이퍼가 담긴 두 가지 다른 크기의 박스를 집어 들고 운반할 수도 있다. 마지막으로 도착지에 도달하면 로봇은 운반 박스를 각 공정 라인에 내려놓는다.
코그넥스코리아 문응진 대표는 “코그넥스의 ‘인사이트 2000’은 이미지 처리 시스템의 성능과 산업용 센서의 사용 편리성 및 저비용이 모두 결합된 제품으로, 특히 공간의 제한이 있는 환경에 장착됐을 때 유연성이 극대화되는 특징을 가지고 있다”고 설명했다.
