SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입해 수율 개선
SK하이닉스, 반도체 공정에 AI 솔루션 도입해 수율 개선
  • 차수상 기자
  • 승인 2023.01.11 08:59
  • 댓글 0
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AI 전문 스타트업 가우스랩스의 ‘판옵테스 VM’ 적용, 공정 산포 평균 21.5% 개선

[디지털경제뉴스 차수상 기자] SK하이닉스가 반도체 공정에 AI 솔루션을 도입해 생산 운영 효율 및 수율 개선에 나섰다.

지난 11월, SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 ‘가우스랩스’는 가상 계측 AI솔루션 ‘판옵테스 VM(Panoptes VM’을 출시했다. SK하이닉스는 12월부터 판옵테스 VM을 양산 팹에 도입해 사용하고 있다.

판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션DLEK. 판옵테스 VM이라는 이름은 그리스 신화에 나오는 눈이 백 개 달려 모든 것을 보는 거인, ‘판옵테스’에서 따왔다. 제조 공정 중 벌어지는 모든 일을 모니터링 한다는 의미이다.

판옵테스 VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정으로, 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요되어, 전수 계측하는 것은 매우 어렵다.

SK하이닉스는 이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 적용했다. 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 APC와 연동해 공정 산포 평균 21.5% 개선 및 수율까지 향상되는 효과를 얻었다. 향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

SK하이닉스 김영식 부사장은 “SK하이닉스는 가우스랩스와의 협력으로 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다”며 “반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것이며, 이번 판옵테스 VM VM 도입은 시작일 뿐”이라고 밝혔다.


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